神奈川県|MDCOMの表面改質技術

当サイトは、無料で全国の企業様のご紹介を行っています。

【無料の企業PR広告】

■該当件数19件 | <前へ | 1 | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 7 | 8 | 9 | 10 | 11 | 12 | 13 | 14 | 15 | 16 | 17 | 18 | 19 | 次へ>
TOP > 神奈川県 > 株式会社エム・ディ・コム

MDCOMの表面改質技術


真空エキシマVUV光表面改質

 実際の真空エキシマVUV光表面改質装置の概念図を示す。
この装置のチャンバー上部にVUVエキシマランプを搭載している。ロータリーポンプ(RP)、拡散ポンプ(DP)により9.9×10E-5(Pa)以下の真空排気が可能です。改質効果、成膜特性制御のため、加熱及び冷却機能が装備されています。また、O2、N2、CDA、反応性ガスなどの導入も可能です。300×400mmの基板まで処理することできる。照射距離は3〜100mmで、照度は3mmで25mw/cm2以上です。有効照射面内の照度分布は±20%以内です。。